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净化工程洁净室

并装局部洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。 洁净工作台：等级Class 1~100级。净化工程洁净室并装局部洁净室(CleanSpot)：将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用。 洁净工作棚：为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，采用***之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高ji之洁净空间，其等级为10~1000级，高度在2.5米左右，覆盖面积约10m2以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用。

净化工程——无尘车间

所谓的无尘车间是一个人造的环境，里面含有的粒子远低于一般的环境，随着集成电路技术的快速成长，也增加了对制造环境(无尘车间)洁静度的需求，在工业上即使粒子之尺寸小于1微米，也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。净化车间工程空jiao囊系由囊体和囊帽组成，主要制备流程为：溶胶→制坯→干燥→拨壳→切割→整理，一般由自动化生产线完成，生产环境洁净度应达10000级，温度10-25℃，相对湿度35%-45%。 由于奈米技术的兴起，造成半导体关键尺寸持续缩小，集成电路积集度不断的增加，尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。例如当金属尘粒地落到金属导线时，就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上，可能将其腐蚀，所以无尘车间为集成电路制造不可或缺的要素。

无尘室对工业生产有什么影响？

（1）对生产效率的影响

室内生产环境对生产效率的影响体现在以下两方面：首先，良好的生产环境不仅可以保障生产人员的身心健康和出勤率，而且能够提高他们的工作情绪和积极性；其次，良好的生产环境可以保证生产的顺利进行，提高产品的成品率。

（2）对产品质量的影响

室内生产环境是影响产品质量的重要因素之一。例如，感光胶片、集成电路、化学***、精密仪表和微型电机等产品，如果被粉尘污染，就会降低质量甚至报废；在食品加工业中，微生物的存在会缩短保质期，降低产品质量。